近日,2023年第二批全省重点实验室认定结果公布,由浙大绍兴研究院、晶盛机电、古越龙山分别牵头申报的先进微纳传感技术、高性能硅材料装备、黄酒技术与装备3家实验室入选,入选总数居全省第4位,其中由企业牵头的数量居全省第2位。
围绕国家重要装备、浙江经济和产业发展对高端传感器的应用需求,针对极端条件(高温、高压、高冲击、高辐射等)对传感器芯片感知特性的影响,实验室针对传感器新型材料及敏感机理、创新结构设计及制造工艺、低噪声 ASIC 电路、传感器芯片三维集成与封装等方面开展深入研究,解决高端传感器的核心共性技术,突破制约高端传感器应用的技术壁垒,为我国的三深探测所需的极端传感器提供关键核心技术支撑。
面向国家集成电路产业高质量发展的重大战略需求,致力于通过硅材料设备关键技术研究解决大尺寸硅片缺陷多、平坦度低等行业难题,建设国内唯一一条 12 英寸集成电路大硅片设备实验线,重点围绕晶体生长、减薄、抛光等关键技术开展研究与突破,建立自主可控的硅材料装备国家技术体系,建设成为半导体材料装备领域世界一流、具有重要国际影响力的科研高地。
重点围绕黄酒生产中关键基础性理论研究、黄酒生产关键技术与装备开发研究、废弃物高值化利用、黄酒功能功效成分及质量安全控制技术与新产品创制等4个方向开展应用基础和前沿技术研究,加强科研成果的转化应用,通过科技赋能,推动绍兴黄酒产业高质量发展。通过5-10年建设,将实验室建成国内一流研究平台、技能人才培养高地和成果产出基地。