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上虞半导体装备技术持续升级 晶盛机电再创国内首台
发布日期:2021-08-02 14:31 访问次数: 字号:[ ]

近日,浙江晶盛机电再次刷新了公司保持的创新纪录,自主研发的国内首台12英寸硬轴直拉硅单晶炉成功生长出首颗12英寸硅单晶。这是晶盛机电又一次在半导体级硅单晶生长装备技术上取得的重要进展,为国内大硅片行业技术升级提供了装备保障。

去年8月,晶盛公司研发成功国内首台8英寸硬轴直拉炉,不到一年时间,晶盛团队总结研发试制经验,通过技术攻关,解决了此前硬轴单晶炉高真空、高精度及传动过程震动消除等诸多技术难题,实现了高稳定性晶体生长环境,有效实现了12英寸硅单晶体内微缺陷控制和径向均匀性提升,为单晶体材料总体质量的提高夯实了装备基础。

据了解,国内集成电路产业的技术发展,对单晶材料内在品质提出了更高要求。硅单晶衬底作为微电子产业最核心的原材料,长期以来依赖进口,尤其是大尺寸硅单晶。晶盛机电硬轴直拉硅单晶炉从8英寸到12英寸的成功研制,意味着硅单晶生产企业可以使用到更先进的生产平台,在核心装备方面与国际竞争对手几乎不存在差距,从而为产品质量的提升拓展了空间。

晶盛机电长期专注于半导体硅单晶生长装备研发,2007年率先推出了国内首台全自动硅单晶炉以来,已相继开发出定拉速控径、液位控制、定放肩、超导磁场拉晶等多项国际领先技术,形成了多款满足直径6至12英寸硅单晶生长装备产品矩阵,成为目前国内半导体生长装备领域产品种类齐全、技术领先的硅单晶炉制造企业。

信息来源:市科技局
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